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ラドテック研究会 第1回若手ポスター発表会におけるポスター発表のご案内

11/4(火)に開催される「ラドテック研究会 第1回若手ポスター発表会」においてポスター発表を行います。

学会名称:「ラドテック研究会 第1回若手ポスター発表会」

演  題:「感光性ポリグリセリン系メタクリレートによる感度・密着性・解像度の向上」

日  時:11月4日  (火)  14:00~16:00

会  場:東京理科大学 森戸記念館

発表内容:UV硬化型ネガ型フォトレジストでは、多官能モノマーの添加によって露光部に架橋構造が形成され、レジスト樹脂の機械的強度が向上します。一方で、一般的な多官能モノマーはUV硬化時に大きな内部応力が生じてしまい、基材との密着性が低下するという課題があります。この問題を解決するために、ポリグリセリン系を母骨格としたメタクリレート「SYシンテック🄬 SM-N1」を開発し、レジストの感度や密着性、解像性に及ぼす影響について報告します。

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