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2025年度精密工学会秋季大会学術講演会における口頭発表のご案内
9月17日（水）~9月19日（金）に開催される「2025年度精密工学会秋季大会学術講演会」において口頭発表を行います。
学会名称：「2025年度精密工学会秋季大会学術講演会」
演 題：「CMP と後洗浄を支えるポリグリセリンの機能性」
日 時：9月19日（金） 09：30～09：45
会 場：京都大学 吉田キャンパス
発表内容：Cu-CMPスラリー中の含窒素複素環系防食剤は、難溶性汚染物を形成し、次の工程に影響します。先行研究より、（ポリ）グリセリンをスラリーに配合すると、防食剤の使用量を低減しつつ、Cuの過研磨を抑制して高平坦性を実現できると報告されています。本講演では、ポリグリセリンを含むスラリーによるCMPと後洗浄工程において、ポリグリセリンの防食性と洗浄性により、清浄な金属表面を提供できることを発表します。
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（研究所 電子材料グループ）