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「2024年度精密工学会春季大会学術講演会」における口頭発表のご案内
3月12日(火)~3月14日(木)に開催される「2024年度精密工学会春季大会学術講演会」において口頭発表を行います。
学会名称:「2024年度精密工学会春季大会学術講演会」
演 題:「Cu-CMPスラリーへのポリオキシアルキレンポリグリセリルエーテルの配合効果」
日 時:3月12日(火) 16:00 ~ 16:15
会 場:東京大学 本郷キャンパス
発表内容:
本研究では、半導体製造に使用される研磨薬液(CMPスラリー)にポリオキシアルキレンポリグリセリルエーテルを配合することで、銅配線の表面状態を改善することを明らかにしました。加えて、電気化学測定装置を用いることで、実際の研磨プロセスに近い状態で腐食挙動の把握を行い、研磨時の銅表面に与える影響についても考察しました。
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(研究所 電子材料グループ)