「2024年度精密工学会春季大会学術講演会」における口頭発表のご案内 2024.03.06

3月12日（火）~3月14日（木）に開催される「2024年度精密工学会春季大会学術講演会」において口頭発表を行います。

学会名称：「2024年度精密工学会春季大会学術講演会」

演　　題：「Cu-CMPスラリーへのポリオキシアルキレンポリグリセリルエーテルの配合効果」

日　　時：3月12日（火） 16:00 ~ 16:15

会　　場：東京大学　本郷キャンパス

発表内容：

本研究では、半導体製造に使用される研磨薬液（CMPスラリー）にポリオキシアルキレンポリグリセリルエーテルを配合することで、銅配線の表面状態を改善することを明らかにしました。加えて、電気化学測定装置を用いることで、実際の研磨プロセスに近い状態で腐食挙動の把握を行い、研磨時の銅表面に与える影響についても考察しました。

（研究所　電子材料グループ）