「ICPT 2022」におけるポスター発表のご案内 2022.09.09

9月27日~9月29日「ICPT 2022」にてポスター発表を行います。

学会名称：International Conference on Planalization Technology 2022
演　題　：Evaluation of Glycerol’s Adsorption on Copper
　　　　　by Novel Dynamic LSV System
日　時　：9月27日（火）16:45~18:00 （ポスター発表）
会　場　：ベンソン・ホテル（米国オレゴン州ポートランド市）

半導体製造に用いられる研磨薬液（CMPスラリー）にグリセリンを添加した場合、
銅配線の表面状態を改善できることを明らかにしました。
更には、この作用機構を動的条件下での電気化学測定により検証しました。
本学会では、これらの研究成果について発表いたします。